无尘室检查内容及报告汇总
一、10内层无尘室位置
该无尘室位于一厂前3,详细位置见附图所示。
二、10内层无尘室需求面
1、无尘室等级﹕1万级
2、温度需求﹕21±2℃; 湿度需求﹕55 ±5%
叁、10内层新无尘室空调施做方式
1、无尘室循环系统介绍﹕
该无尘室经调查原為英建公司设计施做,利用/之高效过滤器效果使无尘室等级在1万级。无尘空调循环示意图,详见附图所示。
2、控制系统介绍﹕
无尘室控制系统主要分為﹕湿盘管控制及干盘管控制
两种方式。具体控制原理详见如下说明﹕
湿盘管(该无尘室采用湿盘管控制)﹕
备注﹕
其原理為﹕把送入无尘室之外气经过空调箱进行处理达到温度﹕ 21±2℃;