传递窗及周转车使用注意事项
? 当硅片要经过传递窗传送时,确保传递窗另一边已关闭。将片盒从传递窗取出或放入后应迅速关闭传递窗,并注意将传递窗上的扣锁扣紧。
? 传递窗不使用时保持密封关闭。除片盒和跟踪单以外的任何物品不允许通过传递窗来传递。
? 工艺停止运行如换石英管或设备出故障时,周转车的门要关闭。
? 每班在工作的时间内,至少用IPA擦洗1次周转车,使其放片盒处保持洁净无灰尘。
? 双手须戴洁净、无汗迹的乳胶手套。
? 缷下的硅片装满承载盒后及时盖上盒盖。
? 每班班前换干净的真空吸笔。
? 六排电池片每一排都要抽检一片电池片,如发现严重色差片,要及时挑出,并且要全部检查这一框电池片。
? 石墨框上不能有碎片等杂物(标记片除外)。
? 进料台、出料台处的片盒、承载盒以及记录本等物品摆放要整齐。
? 设备盖板上保持整洁,无明显的灰尘、杂物。
? 地面保持干净整洁,无碎片、SiN颗粒等杂物。
? 下班前30分钟打扫进料台、出料台处及设备周围的的卫生。
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