洁净室纯水系统使用操作方法
1. 阀门控制
(1) 阀门(VALVE)V1、V2、V3、V4、V6、V8、V10、V12、V13、V14、V16、V17、V19应保持全开。
(2) 阀门V5、V7、V11、V18、V21应保持全关。
(3) 阀门V9、V20為调压作用，不可全开或全关。
(4) 阀门中V5為砂滤机之BY-PASS，V15為U.V灯之BY-PASS，V18為DI桶之BY-PASS，V21為RO膜之BY-PASS。
2.
