微电子半导体无尘室管理规范-进入无尘室须知
一、无尘室须知
1. 进入无尘室前,必须知会管理人,并通过基本训练。
2. 进入无尘室严禁吸烟,吃(饮)食,外来杂物(如报章,杂誌,铅笔…等)不可携入,并严禁嘻闹奔跑及团聚谈天。
3. 进入无尘室前,需在规定之处所脱鞋,将鞋置於鞋柜内,外衣置於衣柜内,私人物品置於私人柜内,柜内不可放置食物。
4. 进入无尘室须先在更衣室,将口罩,无尘帽,无尘衣以及鞋套按规定依程序穿戴整齐,再经风淋室洗尘,并踩踏除尘地毯(洗尘室地板上)方得进入。
5. 戴口罩时,应将口罩戴在鼻子之上,以将口鼻孔盖住為原则,以免呼吸时污染晶片。
6. 穿著无尘衣,无尘帽前应先整理服装以及头髮,以免著上无尘衣后,不得整理又感不适。
7. 整肃仪容后,先戴无尘帽,无尘帽的穿戴原则系:
(1)头髮必须完全覆盖在帽内,不得外露。
(2)无尘帽之下摆要平散於两肩之上,穿上工作衣后,方不致下摆脱出,裸露肩颈部。
8. 无尘帽戴妥后,再著无尘衣,无尘衣应尺吋合宜,才不致有裤管或衣袖太短而裸露皮肤之虞,穿衣时应注意帽之下摆应保平整之状态,无尘衣不可反穿。
9. 穿著无尘衣后,才著鞋套,拉上鞋套并将鞋套整平,确实盖在裤管之上。
10. 戴手套时应避免以光手碰触手套之手掌及指尖处(防止钠离子污染),戴上手套后,应将手套之手腕置於衣袖内,以隔绝污染源。
11. 无尘衣著妥后,经洗尘,并踩踏除尘毯,方得进入无尘室。
12. 不论进入或离开无尘室,须按规定在更衣室脱无尘衣,不可在其它区域為之,尤不可在无尘室内边走边脱。
13. 无尘衣,鞋套等,应定期清洗,有破损,脱线时