无尘室气体钢瓶使用操作方法
1. 用把手逆时针打开气体钢瓶到底,将【OUTLET】打开PURGE关闭。
2. 由黑色转钮调整气体钢瓶的压力(psi),顺时针方向為增加,逆时针方向為减少。
3. 将N2钢瓶调整為40psi(黄光室内為20psi),AIR钢瓶调整為80psi(黄光室内為60psi)。
4. 气体钢瓶使用完毕后,用把手顺时针关闭气体钢瓶到底,将【OUTLET】关闭【PURGE】打开将管路内的气体排出后将【PURGE】关闭。
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