目前世界各国虽有自订的洁净室标准规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。
表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格
