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微电子半导体无尘室管理规范-进入无尘室须知微电子半导体无尘室管理规范-进入无尘室须知 一、无尘室须知 1. 进入无尘室前，必须知会管理人，并通过基本训练。 2. 进入无尘室严禁吸烟，吃(饮)食，外来杂物...192025/12
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半导体无尘室操作使用须知半导体无尘室操作使用须知 处理晶片时，必须戴上无纤维手套，使用清洗过的乾净镊子挟持晶片，请勿以手指或其他任何东西接触晶片，遭碰触污染过的晶片须经清洗，方得继续使...192025/12
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洁净室纯水系统使用操作方法洁净室纯水系统使用操作方法 1. 阀门控制 (1) 阀门(VALVE)V1、V2、V3、V4、V6、V8、V10、V12、V13、V14、V16、V1...192025/12
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洁净室热蒸镀机使用操作方法洁净室热蒸镀机使用操作方法 A.开机步骤 1. 开机器背面的总电源开关。 2. 开冷却水，需先啟动D.I Water 系统。 3. 开RP，热机2分鐘。 4. ...192025/12
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洁净室氧化炉管使用操作方法洁净室氧化炉管使用操作方法 一般洁净室所採用之氧化炉管為Lenton LTF 1200水平管状式炉子，可放2英吋硅晶圆，加热区大於50cm，高温度可达1200?...192025/12
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半导体无尘室黄光区操作及镊子使用须知半导体无尘室黄光区操作及镊子使用须知 1. 湿度及温度会影响对準工作，在黄光区应注意温度及湿度，并应减少对準机附近的人，以减少湿、温度的变化。 2. 上妥光阻尚...192025/12
